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靜電卡盤電源ES系列主要為半導(dǎo)體制造過程 (如刻蝕、PVD、CVD) 的靜電卡盤提供穩(wěn)定的直流電壓，使靜電卡盤產(chǎn)?靜電吸附?，從?能夠穩(wěn)定地吸附晶圓，確保晶圓在加?過程中不發(fā)?位移。

LavaCreek系列專為腔體清潔?設(shè)計(jì)，優(yōu)異的表?處理技術(shù)可極?程度延?使?壽命和減?顆粒污染;內(nèi)部集成可靠的點(diǎn)?模塊，實(shí)現(xiàn)對(duì)等離?體快速點(diǎn)?;同時(shí)采?PFC技術(shù)，提?輸?側(cè)功率因數(shù)，降低諧波電流。

RPJ系列是一款帶脈沖輸出功能的射頻電源，產(chǎn)品覆蓋多種頻率、功率，輸出功率1.5kW～24kW；適用于光伏、顯示器、半導(dǎo)體、科研實(shí)驗(yàn)室等多種領(lǐng)域。

RHH系列是一款功能強(qiáng)大的射頻電源，支持快速調(diào)頻功能，支持連續(xù)波、脈沖波、多極脈沖波輸出，快速數(shù)據(jù)采集，輸出功率1.5kW～50kW；產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體、顯示器、科研等領(lǐng)域。

RLS系列是一款高性價(jià)比產(chǎn)品，最大功率支持3kW，產(chǎn)品適用于等離子清洗、等離子去膠、離子源、真空鍍膜等領(lǐng)域。

RM系列采用專利算法實(shí)現(xiàn)快速匹配，最?功率?持6kW?持混頻，雙輸出?絡(luò)；多種輸出形式，可適配各種形式腔體結(jié)構(gòu)。