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WMS系列固態(tài)型是基于GaN/LDMOS半導(dǎo)體技術(shù)的工業(yè)級(jí)微波能量平臺(tái)，通過高精度頻率合成與多級(jí)功率放大，將電能高效轉(zhuǎn)換為微波能。產(chǎn)品覆蓋功率1kW~280kW，頻率包括915MHz、2.45GHz及定制頻段，支持連續(xù)波與脈沖雙模式，廣泛應(yīng)用于MPCVD金剛石制備、半導(dǎo)體制造、醫(yī)療加速器及科研等領(lǐng)域。

微波開關(guān)電源是基于IGBT高頻逆變技術(shù)的新型微波電源，集陽極高壓電源、燈絲電源和磁場(chǎng)電源(3kW微波電源除外)于一體,為3kW、6kW、10kW、15kW、25kW、75kW、100kW連續(xù)波磁控管提供工作條件。該產(chǎn)品用于MPCVD、微波等離子體刻蝕、微波等離子體去膠等領(lǐng)域。