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產(chǎn)品描述
參數(shù)
型號(hào)定義
主要參數(shù)
● 采?FPGA為控制核心，結(jié)合優(yōu)異的算法使調(diào)諧更快更精確
● 選??精度真空電容，匹配精度更?、性能更可靠
● ?持?/?動(dòng)匹配、預(yù)設(shè)點(diǎn)模式，實(shí)現(xiàn)最快匹配時(shí)間<300ms
● 具備電容、相位、幅值、偏壓、射頻電壓、射頻電流、阻抗等檢測(cè)功能，為?藝提供更多的參考參數(shù)
● 多種功率和頻率規(guī)格可選，同時(shí)可覆蓋混頻?絡(luò)、雙路輸出?絡(luò)
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RLS系列通用型
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