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產(chǎn)品描述
參數(shù)
型號(hào)定義
主要參數(shù)
● 采??速DSP作為控制核?，可靠穩(wěn)定
● 采??精密的模擬集成電路進(jìn)? PWM 調(diào)節(jié)
● 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊，節(jié)省空間
● 產(chǎn)品經(jīng)嚴(yán)格HASS測(cè)試
● 具備單極性、雙極性、CT等多種產(chǎn)品，適用不同機(jī)臺(tái)
● 可配置晶圓檢測(cè)功能，用于判斷是否正常吸附
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遠(yuǎn)程等離子源LavaCreek系列
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