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英杰電氣中頻濺射電源憑借優(yōu)異的波形調(diào)制技術(shù)，可實現(xiàn)輸出直流、直流脈沖、雙向方波、雙向梯型波等波形。產(chǎn)品具有輸出波形可調(diào)，輸出頻率可選，占空比可調(diào)，功率控制精準，以及低能量存儲和快速的電弧反應(yīng)。為鍍膜工藝提供便利、精準的控制。產(chǎn)品主要應(yīng)用于各種薄膜制造工藝，太陽能電池片行業(yè)，真空鍍膜行業(yè)；應(yīng)用工藝：磁控濺射工藝、孿生靶濺射、管式PECVD。

MSD系列直流濺射電源采用公司最核心的直流控制系統(tǒng)結(jié)合優(yōu)異的弧光處理方案，從而使產(chǎn)品具有非常穩(wěn)定的性能，產(chǎn)品可靠性高，電弧損傷小，工藝重復(fù)性好。采用中英文顯示界面，操作簡便。